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            產品資料

            廣東PECVD(等離子體增強化學氣相沉積系統)[產品打印頁面]

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            產品名稱: 廣東PECVD(等離子體增強化學氣相沉積系統)
            產品特點: TF1200-60-SL-4Z-LV-PECVD系列 詳情咨詢15814477180 楊程
            產品展商: 其它品牌
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            產品文檔: 無相關文檔
            簡單介紹

            此款設備配有Plasma實現等離子增強,滑軌式設計在操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調裝置,可準確的控制反應腔體內部的氣體壓力,帶刻度的調節閥對于做低壓CVD非常簡單實用,工藝重復性好,對于石墨烯生長工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。



            廣東PECVD(等離子體增強化學氣相沉積系統)  的詳細介紹

            主要功能和特點:

             

            1、利用輝光放電產生等離子體電子激活氣相;

            2、提高了氣相反應的沉積速率、成膜質量;

            3、可通過調整射頻電源頻率來控制沉積速率;

            4、能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長。



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