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            產品資料
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            MXG1200-60-PECVD[產品打印頁面]

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            產品名稱: MXG1200-60-PECVD
            產品特點: 等離子增強化學氣相沉積系統
            產品展商: MICRO-X
            產品價格: 0.00 元
            折扣價格: 0.00 元
            產品文檔: 無相關文檔
            簡單介紹

            MXG1200-60-PECVD等離子增強化學氣相沉積系統是利用輝光放電產生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學反應。該系統由MXG1200系列真空管式爐、石英反應腔室、射頻電源、多通道混氣系統、真空機組、反應控制系統組成。



            MXG1200-60-PECVD  的詳細介紹

            MXG1200-PECVD型等離子增強化學氣相沉積系統

            技 術 參 數

            設備簡介

             MXG1200-PECVD型等離子增強化學氣相沉積系統是利用輝光放電產生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學反應。該系統由MXG1200系列真空管式爐、石英反應腔室、射頻電源、多通道混氣系統、真空機組、反應控制系統組成。

            設備特點

            1、利用輝光放電產生等離子體電子激活氣相;

            2、提高了氣相反應的沉積速率、成膜質量;

            3、可通過調整射頻電源頻率來控制沉積速率;

            4、能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長。

            開啟式真空管式爐

            石英管

            Φ60/80/100mm L1400mm

            加熱區尺寸

            440mm

            恒溫區尺寸

            200mm

            控溫模式

            采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。

            升溫速率

            20℃min

            極限溫度

            1200

            長時間工作溫度

            1150

            表面溫度

            60℃1000保溫)

            控溫精度

            ±1℃

            加熱元件

            電阻絲(0Cr27Al7Mo2

            密封及連接方式

            CF  KF  真空波紋管

            質量混氣系統

            流量規格

            50sccm\100sccm\200sccm\300sccm\500sccm(可自選量程)

            調節閥類型

            電磁調節閥

            控制精度

            ±0.2%F.S

            工作壓差范圍

            50300KPa

            混氣罐尺寸

            Φ80×120mm

            電功率

            AC220V/50HZ/20W

            真空系統參數

            低真空配置

            4L/S 機械泵  電阻真空計 真空波紋管 擋板閥

            極限真空度:≤0.1Pa

            高真空配置

            4L/S 機械泵  300L/S分子泵 復合真空計 真空波紋管 擋板閥 

            極限真空度:≤1.3×10-4Pa

            射頻電源系統

            輸出功率

            5-300W   5-500W  (可選)

            控制模式

            手動/PLC/PC

            工作頻率

            13.56MHZ標準正弦波

            供電電壓

            單相交流(190V240V

            冷卻方式

            風冷

            設備外形尺寸

            1800mm(長)*600mm(寬)*1390mm(高)

            設備重量

            215KG

            服務保障

            質量:產品的制造和檢測嚴格按相關標準執行,并有質量記錄可查;每臺設備都有唯壹的制造編號,并建立用戶檔案。

            交貨期:按合同約定執行;如客戶有特殊原因需提前交貨的,我公司可特別組織生產,力爭滿足用戶需求。

               

            1、物流送貨****;

            2、高效率服務:當設備不能正常使用時,請及時聯系我們,我們會在10分鐘內響應;2小時內提供應急解決方案;24小時內安排專業人員****;

            3、免費更換維修服務:本產品提供一年免費保修服務(易損件除外);

            4、定期回訪服務:提供定期電話回訪或上門回訪服務;

            5、免費更新服務:我們免費提供軟件的升級更新服務,使設備始終處于國內優越;

            6、保證配件供應:保證設備配件及配套產品的供應;

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